| 所属名称 |
日本酸素（株） 日本技術士会 |
| 職名 |
チーフ |
| 名前 |
スギモリシゲユキ
杉森由章 |
| 相談分野 |
- 半導体製造工程から排出される有毒ガスの処理方法
- MOCVD用金属錯体原料及びその供給方法
- 酸素を級脱着するＣＯ錯体の製造及びその利用方法
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| 実績・主な著書 |
- 我が社のPFC削減技術開発（論文）
- ＭＯＣＶＤ法による強誘電体被膜作成用の金属錯体（論文）
- 半導体用材料ガスを除去する新規な除外剤（特許）
- 半導体用材料ガスを除去するリサイクル可能な新規除外剤（特許）
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| 資格 |
- 技術士（化学部門）
- 高圧ガス製造保安責任者（甲種化学）
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